
表麵清潔度分析儀
- 更新時間:2023-06-29
- 產品型號:LCD1000
- 廠商性質:生產廠家
- 產品品牌:KINO
- 產品廠地:上海市
- 訪問次數:4651
產品介紹
表麵清潔度分析儀Automatic Flat Panel Cleanness Analyzer / Water Drop Angle Meter
Model LCD1000A/LCD1000M
LCD係列表麵清潔分析儀為美國午夜福利黄色视频研製的行業性分析儀器,可在分析測試水滴在液晶屏、晶圓(Wafer)、芯片或PCB板表麵的形成的角度值的基礎上,進而分析Plasma效果,是一種基於界麵化學分析係統的表麵清潔度測試係統。
本係列表麵清潔度分析儀由儀器主機和CAST™2.0水滴角分析軟件兩個部分組成。根據樣品台移動方式不同,午夜福利黄色视频將儀器主機分為自動(LCD1000A)、手動(LCD1000M)兩種。樣品台尺寸及其控製行程可根據客戶要求定製。午夜福利黄色视频為廣大客戶提供性能,價格合理的儀器以及化的產品,期盼為客戶的研發與品質控製提供的服務。
一、LCD係列表麵清潔分析儀的產品優勢:
1、人性化的設計,操作簡單;
→選購自動注射泵,可完成自動進液控製,精度可達0.02uL
→自動修正鏡頭傾斜角度以及水平線傾斜角度
→按測試,軟件自動完成拍照、分析敏感點、計算角度值
2、全區域測試,可支持各種規格麵板
→480*480(LCD-400S)
→750*750(LCD-700S)
→900*700(LCD900S)
→1400*1400(FPD)
3、數據庫管理技術
→曆史數據可查詢
→可導出為EXCEL文檔及BMP圖片
→可錄相AVI格式,供製作PPT所用
4、CAST2.0具有多項技術
→多達6種以上接觸角計算辦法
→多達12種固體表麵自由能估算模型
→支持曲麵校準技術
→支持粘附功計算、WBA分析等
二、LCD係列表麵清潔分析儀的功能實現:
1、測試前:
(1)通過調整進樣器前後、左右、上下移動(XYZ)及鏡頭俯仰角度和升降(Z向),實現調整焦距的目的。
(2)通過控製導軌前後、左右移動(XY),將注射泵移動至角落後,以方便裝樣。
2、測試過程中:
(1)通過導軌前後、左右方向(XY)的移動控製,實現樣品上不同點的水滴角度值的測試;
(2)通過移動進樣器升降移動(Z向),完成液滴移液過程(將水液滴轉移到液晶屏上);
(3)通過進樣器注出液滴,進行角度分析,精度可達0.02uL。
3、測試實現方法:
(1)通過相機捕捉液滴在液晶屏上的圖片後,分析敏感點,計算得出角度值;
(2)計算辦法:θ/2法(WH法)或圓擬合法;
(3)軟件對鏡頭的俯視角度進行適當的修正,以期實現更的測量。
三、技術參數:軟件分析基於CAST2.0分析係統
| LCD1000A | LCD1000M | ||
全自動型 | 手動型 | |||
主機 | 主機 | 概述 | 自動控製樣品台 | 手動控製樣品台 |
鏡頭水平X移動 | 自動:600mm 或更大行程 精度:0.01mm | 手動:600mm或更大行程 精度:0.1mm 帶手柄 | ||
鏡頭水平Y移動 | 自動:600mm或更大行程 精度:0.01mm | 手動:600mm或更大行程 精度:0.1mm帶手柄 | ||
鏡頭上下Z1移動 | 自動:25mm 精度:0.01mm | 手動:25mm 精度:0.01mm | ||
鏡頭傾斜調整 | 手動 | 手動 | ||
樣品台水平 | 手動 微調 | 手動 微調 | ||
進樣器控製XY | 手動 12.5mm 0.01mm 精度 | 手動 12.5mm 0.01mm 精度 | ||
進樣器控製Z | 自動 25mm 0.01mm精度 | 手動 25mm 0.01mm精度 | ||
整機升降控製Z2 | 自動 25mm 0.01mm精度 | 手動 25mm 0.01mm精度 | ||
水平調整 | 手動微調控製樣品台水平 | |||
樣品台 | 600*600mm 或更大 | |||
進樣器 | 自動進樣注射泵 | 手動進樣注射泵 | ||
進樣器焦距調整:手動 | ||||
光學CCD成像係統 | USB口視頻捕捉設備 25幀/秒工業黑白CCD相機 10-50倍連續放大工業鏡頭 | |||
光學係統調整 | 一維水平角度調整機構 | |||
光源係統 | 可調亮度單色冷光LED光源,水滴角圖像邊緣更清晰 | |||
通訊接口 | 主機控製及視頻係統控製均采用USB2.0通訊接口,兼容性更好、速度更快 | |||
軟件 係統 | 水滴角計算方式 | 全自動計算 按“測試”,軟件自動完成拍照、分析敏感點、計算水滴角值三個動作 | ||
水滴角計算辦法 | 共6種:*提供θ/2法、真實液滴法、圓擬合法、橢圓擬合法、曲線尺法,適用於分析動/靜態水滴角值 | |||
液滴形態 | 5種分析液滴形態:停滴(2、3態)、懸滴、氣泡虜獲法以及插板法,多種液滴形態均可適用 | |||
隨時間變化水滴角測試 | 25幀/秒隨時間變化水滴角測試,提供軟件觸發技術 | |||
動態水滴角分析 | 前進角/後退角分析 | |||
表麵自由能估算 | *提供如Equation of State ( Neumann et al. )、Good-Girifalco、Owen-Wendt-Rabel、Simple Fowkes、Extended Fowkes、WU法1-2、Schultz法1-2、Acid-base(Van OSS & Good)、Jhu、Zizman臨界表麵張力法等共12種表麵自由能估算方法,不但能分析低能固體表麵,也能分析高能固體表麵,以及他們的分布(色散力、極性力、氫鍵值、路易斯酸堿等)。 | |||
粘附功計算 | 軟件自動分析 | |||
ü 自動曲麵修正:上凸曲麵、下凹曲麵、表麵粗糙度修正; | ||||
ü 自動水滴角值計算(θ/2 法)和人工計算水滴角值法切換 | ||||
ü 左右水滴角值計算與比較,平均水滴角計算 | ||||
ü 水平及俯仰角度,任意角度值修正功能 | ||||
ü 自動生成曲線圖 | ||||
ü 強大的數據庫管理功能:備份、壓縮、導出EXCEL表格 | ||||
ü 自動液滴量估算 |
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